John Madey thường được nhận là người phát minh FEL vì ông là người viết bài lý thuyết của FEL năm 1971 [1] và là người giáo sư hướng dẫn công cuộc thực hiện máy FEL đầu tiên ở Stanford năm 1978 [2]. Tuy nhiên, cơ bản của FEL đã được Robert Phillips chứng minh bằng máy ubitron (undulator beam interaction) ở vùng sóng mi-li-mết vào năm 1960 [3].